HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵
真空干泵具有 <>
密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。
极限压力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)
入口压力：1.0 个大气压(0 psig)
冷却 方式：风冷
泵净重: 34 q (75 bs);含包装: 45 kg(100bs)
尺寸 (高x宽x长(mm))：364x 333x 485
泄漏速度(密封排气口时)：< 1="" x="" 10°="" sccs="" (1="" x="" 10="">
HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵用途
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度，在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合，使这样的衬底表面具有疏水性。从而增强光刻与衬底表面的粘附性。
HMDS烘箱性能
温度范围：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制仪表：彩色触摸屏控制，操作更加简单，方便
HMDS工艺：蒸汽气相涂布
安全检测：超温保护，HMDS泄漏检测提示
储液瓶：HMDS储液瓶
真空泵：无油涡旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
