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德国 Pfeiffer 上海伯东残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. -低可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
-低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
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型号
QMG 250 F1
QMG 250 F2
QMG 250 F3
QMG 250 M1
QMG 250 M2
QMG 250 M3
检测器
法拉第 Faraday (F)
电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
质量数 amu
1–100
1–200
1–300
1–100
1–200
1–300
四极杆直径／长度
6 /125 mm
最小检测极限 F hPa *1,2
4X10-13
5X10-13
7X10-13
-
-
-
最小检测极限 M hPa *1,2
-
-
-
3X10-15
4X10-15
5X10-15
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3
5X10-4
4X10-4
3X10-4
5X10-4
4X10-4
3X10-4
大工作压力 F hPa
5X10-4
大工作压力 M hPa
-
-
-
5X10-5
5X10-5
5X10-5
对临近质量数的影响*1
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作温度 分析
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作温度 电子
5 – 50 °C
烘烤温度 分析
300 °C
连接法兰
DN 40 CF-F
保压时间
1 ms – 16 s/amu
重量
2.5 kg
3.2 kg
* 1 开放式离子源,
* 2 停留时间 4秒
*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:
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Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频
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