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氦质谱检漏工作站 ASM 1002

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公司名称伯东企业（上海）有限公司
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型号
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2024/1/17 8:54:07
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氦质谱检漏仪普发检漏仪泄漏检测普发氦气检漏仪 ASM 1002

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公司介绍主营产品

　　伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。

　　上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

　　上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。

　　上海伯东作为国际真空品牌代理商，负责在中国地区的销售和维修服务，使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门

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上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏工作站ASM 1002 应用于对节拍时间要求*并且需要快速降低氦本底的工况. 适合大规模批量化检漏, 只需不到5秒的时间即可达到1*10-9 mbar.l/s.氦质谱检漏工作站 ASM 1002

氦质谱检漏工作站 ASM 1002 产品信息

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Pfeiffer 氦质谱检漏工作站 ASM 1002

上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏工作站ASM 1002 应用于对节拍时间要求*并且需要快速降低氦本底的工况. 适合大规模批量化检漏, 只需不到5秒的时间即可达到1*10-9 mbar.l/s.

氦质谱检漏工作站 ASM 1002产品优势
一台或两台旋片泵 (25/50 m3/h) 实现对测试部件的粗抽, 一台旋片泵 (20m3/h) 作为高真空分子泵的前级泵
同类型业界检漏时间短的氦质谱检漏仪
两种测试模式: 标准测试模式或为大批量半自动化生产所设定的Pass/Fail模式

氦质谱检漏工作站 ASM 1002*自动化, 一旦测试腔关闭, 测试便自动开始运行. 强劲的真空泵装置排空测试腔, 使检漏装置得以快速准确的运行. 测试结束时, 氦质谱检漏工作站 ASM 1002 会显示是否超过既定漏率（超过亮红灯/正常亮绿灯）如果测试零件正常, 侧室腔自动放气, 腔内气压回到大气压值并自动打开, 以节约操作者时间. 如果测试零件有泄漏, 红灯警告后熄灭. 测试腔仍停留在真空状态, 此时, 腔内放气需要操作者的手动操作, 按下控制键. 因此无需操作者释读, 同时保证了所有泄露零件都能检测.

检测时间（漏率值10^-9mbar）	标准测试腔体（81cc）检测只需5秒
小检测漏率	真空模式 1E-12 pa m3/s 吸模式 1E-8 pa m3/s
可选一到两个前级泵	25 m³/h(15 cfm) 或 50 m³/h（30 cfm）
前级泵	20 m³/h（12 cfm）
启动压力	100 hPa
高真空泵	200 l/s 混合泵
氦气抽速	4 l/s
能量功耗	2.3 KW
重量	190 kg