补偿式。
0 SLPM 到 20.0 SLPM。
模拟输出
同轴流量测量
AWM5000 系列微桥气体质量流量传感器采用文丘里管型流量外壳。该系列可测量速度高达 20升/每分(SLPM) 且压降为 2.25" H2O 的气流。微桥芯片直接与气流接触，大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
坚固、通用的封装
坚固的塑料封装被设计为能承受 50 psi 的共模压力，且小型传感元件能承受 100 g 的冲击，而不会影响性能。随附的“AMP”兼容连接器可提供超可靠的连接，适用于要求严苛的应用。
内置信号调节
每个 AWM5000 传感器都包括可执行放大、线性化、温度补偿和气体标定功能的电路系统。无论流量范围 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校准气体（氮气、二氧化碳、一氧化二氮或氩气）如何，所有产品都可能达到 1 至 5 Vdc 的线性输出。主动激光可进行所有校准。
注意：产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
AWM5000 datasheet.pdf
sensing-pressure-force-flow-rg.pdf
