● *的 EMI / RFI / 光密屏蔽设计
● FemtoAmp 低泄漏能力
● 温度范围 -60°C 至 300°C
● 支援飞安级低漏电量量测
● ERS 的 AC3 冷却技术
● 具有高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离散位置
Chuck XY行程
● 样品测试尺寸：8 英寸 - 12 英寸
● 行程范围：225 × 260 mm (8.9 × 10.2 in)
● 精密行程范围：25 × 25 mm
● 精细行程分辨率：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 表面平坦度：≤ ±5 μm
● 盘旋转：360°
● 卡盘旋转：± 5.0°
Chuck Z行程
● 行程范围：5 mm (0.2 in)
● 行程精度：< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 气浮行程：20 mm, pneumatically
手动显微镜
● 移动范围：50 × 50 mm (2 × 2 in)
● 分辨率：< 5μm (0.2 mils)
