ZATA光学轮廓仪Zeta-20表面轮廓测试系统-衡鹏供应
Zeta-20表面轮廓测试系统概述
型号：Zeta-20
产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统
品牌：Zeta泽塔
简介：3D成像及测试系统 （为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的选择 ）
Zeta-20表面轮廓测试系统技术规格
Zeta-20性能配置
数据获取： 小于10秒(200步扫描)
3D扫描： 每秒大于30步
像素分辨率： 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
Z轴分辨率： 0.002 μm (压电陶瓷载台)
重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)
Zeta-20标准功能
相机选项： 640x480, 1024x768,
1280x960像素
放大倍率： 45000X (光学加数字)
照明： 双重高亮度白光LED
手动载台： 100mm x 100mm XY移动距离
Z轴移动距离：40mm
