泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI简介
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI技术参数
类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
分辨率： 0.1 A
测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI主要特点
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI技术参数
类型： CCI 干涉（相干相关干涉）
分辨率： 0.1 A
测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 )
泰勒白光干涉表面轮廓仪Talysurf CCI主要特点
- 相干相关算法
- 0.01nm分辨率
- 10-20秒测量时间
- RMS重复性：0.03A
