1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空室:直径:160mm,高:110mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 2×10-1—8×10-2 mbar
5.离子电流表:电流:50mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间
7.电压:-1600DVC
8.机械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气
10.真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节
,可连接φ4×2.5mm软管
1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空室:直径:160mm,高:110mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 2×10-1—8×10-2 mbar
5.离子电流表:电流:50mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间
7.电压:-1600DVC
8.机械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气
10.真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节
,可连接φ4×2.5mm软管
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