技术参数
流量范围（可用的中间范围）：min.0…500毫升/分钟
Max.0…20 ln/min（基于N2）
压力范围：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）
精度（包括线性度）（基于实际校准）：高达±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空气/O2）；
对于其他气体，增加转换不确定性；
重复性：
流量传感器：<±0,2%Rd；
压力传感器：<±0,2%FS
减速比：高达1:1000
工作压力：max.16 bar g
22种气体以及这些气体的任何混合物的多气体/多量程嵌入式气体数据
响应时间（传感器）：<30 ms（T63）
3年内长期稳定性：<0,5%FS；则每年<0,2%FS
安装任何：位置，姿态灵敏度可忽略不计
温度灵敏度流量传感器：零00015%FS/ºC；量程0,03%Rd/ºC；
压力传感器：零0,16 mbar/ºC；量程0,05%Rd/ºC
