等离子体表面处理仪产品简介：
NE-PE02是一款小型等离子体表面处理仪，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。设备采用进口品牌高性能旋片真空泵快速产生一个小于1-2Pa的真空压强，同时根据客户工艺要求，对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体，采用进口高品质等离子发生器，使得通入的工艺气体产生等离子体，并确保稳定产生高密度，高能量的离子。等离子体与材料发生复杂的物理，化学反应，可以实现不同的工艺功能，比如清洗，活化，刻蚀与涂敷等。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光。
等离子体表面处理仪功能特点：
•耐用的高品质不锈钢结构和固定装置
•双层托盘设计，可调节托盘间距
•8K 镜面不锈钢腔体，密封性
•可支持 13.56 MHz 射频发生器，与网络自动匹配(只对真空泵在系统外部)
•直观的触摸屏，过程参数实时监控。
•方便的定期校准设备连接验证过程中使用的要求
•支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体
•通过联锁门或可移动的板
•两个标准的电子质量流量控制器的气体控制，有两个额外控制器的选择 ( 4 个)
等离子体表面处理仪产品参数：
| 序号 | 项目 | 型号规格 | 参数 |
| 1 | 等离子发生器 | 功率 | 0-300W可调 |
| 抗辐射干扰高频匹配器 | 自动阻抗匹配，远程通信控制 | ||
| 频率 | 40KHz | ||
| 2 | 真空反应腔室 | 腔体材质 | 进口 316 不锈钢，级密封 |
| 腔体容积 | 2L | ||
| 电极数量 | 1 个镀金铝合金专用电极+1 个不锈钢 托盘 | ||
| 腔体直径（圆形） | 100（W）×270（D）mm | ||
| 有效处理范围 | 80（W）*235(D)mm | ||
| 绝缘陶瓷 | 进口高频陶瓷 | ||
| 3 | 气路控制 | 气体流量控制器 | 浮子针阀流量控制器， 0-500ML |
| 气路数量 | 最小 2 路气体，支持氧气，氩气，氮 气，氢气，四氟化碳等 | ||
| 4 | 整机参数 | 整机功率 | 1000W |
| 外形尺寸 | 长*宽*高 ： 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H) |
小型等离子体表面处理仪常见应用：
PDMS表面进行亲水化处理，经过等离子体表面处理后键合，形成微流控芯片;
应用等离子体表面处理仪处理木塑基材,提高表面活性水披覆转印后从而提高产品表面的附着力;
利用光固化和微负型技术制备硅橡胶模具,在硅橡胶模具使用前进行等离子处理,可以改善其亲水性;
塑料封装，键合前后增加等离子体表面处理工序，可以提高键合强度和模塑料与框架/基板界面结合强度;
对ITO表面进行等离子体清洗可以降低成核势垒并激活ITO表面上的悬空键;
等离子体表面处理仪可以有效清除键合区的污染物,提高键合区表面化学能及浸润性,因此在引线键合前进行等离子处理可以大大降低键合的失效率,提高产品的可靠性。
