描述
- 全自动操作，简单易用，非常适用钨灯丝、台式扫描电镜等
- 溅射电流自动调整——设定溅射电流后，系统自动调节真空度，从而达到设定的溅射电流，调整时间＜5s，波动范围＜±5%；
无需按“实验”键调整溅射电流、无需操作“进气阀”。
- 溅射时间自动记忆——同类样品一次设定即可；
- 参数改变自动调整——溅射过程中可以随时调整溅射电流和溅射时长，系统自动计算叠加，无需终止溅射过程；
- 工作完成自动放气；
- 样品台高度调节1秒完成；
- 溅射过程可以利用曲线显示，清晰直观。
- 软硬件互锁，防误操作，安全可靠
- 真空度高于100Pa，启动真空保护，无法溅射；
- 溅射电流高于50mA，停止溅射过程；
- 真空泵工作时，系统无法进行放气操作；
- 镀层均匀，导电性良好
