四氟化碳是一种有机物(卤代烃)，在常温常压下是一种无色气体，这种废气如直接排放于大气中不仅会造成严重的空气污染，而且如果人类吸入高浓度的四氟化碳会出现呼吸困难、窒息、呕吐等现象，那对于加工厂排放出来的含有四氟化碳的废气应该怎么处理?
目前在各种集成电路的离子刻蚀加工工艺(溶剂、润滑剂、激光气体、低温制冷剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂)中会排放出含四氟化碳的工业废气，除了四氟化碳还有三氟化氮、六氟化硫等酸性废气，也是来源于电子产品生产时芯片用的刻蚀剂、清洗剂等领域。
因不同的产品用到的含氟物质不同，自然排放出来的含氟物质是不一样的，含四氟化碳工业废气处理设备可以采用热催化氧化方法、直接吸收法、等离子体分解法、直接燃烧方法等处理工艺。
含四氟化碳废气处理方法之直接燃烧法：
直接燃烧指的是把废气中的有害物质当做燃料直接烧掉，在燃烧工艺进行时燃烧所放出的热量可以补偿散向环境中的热量，起到热量的二次利用，直接燃烧法适用于燃烧时热值高的、浓度高的有机废气。
除了直接燃烧法以外，如想了解其他的废气处理方法可以直接到宏森环保进行相关的处理方案查询。
