洁净机器人
产品介绍洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。随着生产技术水平不断提高,其对生产环境的要求也日益苛刻,很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行,洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。
产品特点
□洁净润滑技术:通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂,实现对环境无颗粒污染,满足洁净要求。
□高速平稳控制技术:通过轨迹优化和提高关节伺服性能,实现洁净搬运的平稳性。
□控制器的小型化技术:根据洁净室建造和运营成本高,通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间。
□晶圆检测技术:通过光学传感器,能够通过机器人的扫描,获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息
技术参数
机器人型号 | 到达距离 | 称重能力 | 防护等级 |
HD 6640-180 | 2.55m | 180kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640-235 | 2.55m | 235kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640-205 | 2.75m | 205kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640-185 | 2.8m | 185kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640-130 | 3.2m | 130kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640ID-200 | 2.55m | 200kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
HD 6640ID-170 | 2.75m | 170kg | IP 67, 铸造专家, 洁净室ISO 5级 |
轴运动 | 6640工作范围 | 6640ID工作范围 | 速度 |
轴1旋转 | +170° to -170° | +170° to -170° | 100- 110 |
轴2手臂 | +85° to -65° | +85° to -65° | 90°/s |
轴3手臂 | +70° to -180° | +70° to -180° | 90°/s |
轴4手腕 | +300° to -300° | +300° to -300° | 170- 190°/s |
轴5弯曲 | +120° to -120° | +100° to -100° | 120- 140°/s |
轴6翻转 | +360° to -360° | +300° to -300° | 190- 235°/s |
——End——
