高精度气体分析仪 HiQuad™
伯东公司普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad™, 可实现达 125μs / amu 的测量速度, 使用 Quadera® 软件, 操作简单. 质谱分析仪模块化设计方便集成, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 杆直径, 离子源, 探测器和界面.
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™优势
1. 模块化设计灵活
2. 使用 Quadera® 软件, 操作简单
3. 的测量速度, 达 125μs/ amu
4. 的灵敏度且动态范围宽
5. 内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信
质谱分析仪 HiQuad™ 技术规格
| 质量数 amu | 1-128 | 1-300 | 1-512 *3) |
| 检测限 mbar | 5X10-16 | 2X10-15 | 1X10-15 |
| Ar 灵敏度, *1) A/mbar | 1X10-3 | 2X10-4 | 5X10-4 |
| 操作压力 mbar | |||
| 法拉第 | 1X10-4 | 1X10-4 | 1X10-4 |
| SEM | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 |
| 分压比 SEM ppb | < 0.3 | < 1 | < 0.5 |
| 分析仪 | QMA 410 | QMA 430 | QMA 400 |
| 杆系统, 材料 / 直径 mm | Mo / 16 | 不锈钢 / 8 | Mo / 8 |
| 射频发生器 (RF) | QMH 400-1 | QMH 400-5 | QMH 400-5 |
| 静电计前置放大器 | EP 422 | EP 422 | EP 422 |
| 工作温度 / 分析仪°C | 150 | 150 | 150 |
| 烘烤温度 / 分析仪 *2) °C | 400 | 400 | 400 |
| 连接法兰 | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | DN 63 CF-F |
*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1％, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™应用
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上海伯东: 叶女士 中国台湾伯东: 王女士
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F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
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