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氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称伯东企业(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/2/23 10:34:05
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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司()主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际真空品牌代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,99% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用
氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用 产品信息


应用十一、氦质谱检漏仪 CL 004 氦气标准漏孔检漏仪校准应用

CL 004 标准校准漏孔外形为长方体,可以方便放置在任意平面上,其功能用于校准或检测氦质谱检漏仪吸枪模式。

外形图如下图:


氦质谱检漏仪尺寸如下图:尺寸单位 mm(英寸)



Pfeiffer CL 004 校准漏孔根据漏率值范围不同分为三种规格:

订货号 漏率范围
BG447704-T approx 10-4 mbar l/s
BG447705-T approx 10-5 mbar l/s
BG447706-T approx 10-6 mbar l/s
读数精度:+/-10 %
用户可以根据不同需求确定使用范围,但是具体的数值还要根据校准漏孔本身的读数为准。
3. 校准漏孔操作说明
标准校准漏孔是持续泄露的,既氦气从标准泄漏点持续流出。
应用条件
环境温度 +5 ... +35 °




吸枪校准
氦质谱检漏仪 吸枪对准校准泄漏点,紧靠在泄漏点上,大约 10 s 数值会稳定。


在使用氦气标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准时,氦质谱检漏仪内部校准值要设定和标准漏孔的实际漏率值一样,然后按照校准程式进行校准,最后将校准后的结果保存,校准完毕;另外还可以在检漏仪吸枪模式工作状态时将吸枪靠近校准漏孔泄漏点,比较一下氦质谱检漏仪上的测量值和标准漏孔的实际值的差异,然后在进行校准,再比较。

3. 氦气标准漏孔应用
氦质谱检漏仪 吸枪模式(Sniffer mode)使用时,数值会产生误差,使用标准氦气漏孔对氦质谱检漏仪 进行校准,在实际应用中非常必要,Pfeiffer CL 004 氦气标准漏孔提供一个工业标准漏率值,氦质谱检漏仪对应此标准漏率值进行校准,可以提高氦质谱检漏仪的精确度,达到一个更好的测试效果。

4. 工业标准
This is to certify that the leakage rate given in our quality inspection certificate has been established by equipment which are regularly checked (in the course of our control of measurement equipment according to ISO9001) with PTB*-calibrated standard leaks. In this way our measurements of leakage rates are traceable to national standards as required by ISO9000.
*PTB = Physikalisch-Technische Bundesanstalt Berlin

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