分辨率/重复精度为0.1/0.5 μm时，精度可达（1.1+0.6L/600） μm。
确保垂直度（前部）达6 μm，直线度达4 μm。
全/半空气浮动系统可调节气垫高度。
带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，可实现外部测量数据评估。
高度仪可半自动测量时具有单键操作功能。
通过Digimatic工具实现数据输入。
为方便用户操作，可选择多种信息语言包括英语、德语、法语、西班牙语、意大利语、荷兰语、葡萄牙语、瑞典语、捷克语、匈牙利语、斯诺文尼亚语、波兰语、土耳其语、繁体中文*、朝鲜语**和日语。
