用途 | 用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺 |
温度范围 | 室温＋10℃～250℃ |
温度波动度 | 恒温温度波动±0.5℃ |
温度均匀度 | 计算方法:设定150℃,6点测温,(max-min)/min≤3.5% |
工作室尺寸（mm） | 450（深）*450（宽）*600（高）（可自定） |
洁净度（class） | Class100 |
气体过滤 | 配有气体过滤装置，保证腔体内洁净度为100级 |
隔板要求 | 每个腔体配二个隔板，用不锈钢板冲孔制成 |
箱体外壁材料 | 冷轧钢板静电喷塑（或SUS304） |
箱体内壁材料 | 为不锈钢板内壁氩弧焊（SUS316或SUS304） |
保温材料 | 优质超细纳米玻璃棉 |
氮气接口 | 能将箱内空气排出，确保烘烤的硅片是在氮气中进行 |
控制方式 | 人机界面+PLC控制 |
氮气流量 | 0.3~0.5M3/H(可调，可选择具有流量偏低/偏高报警功能,并实时监控记录曲线） |
超温保护 | 采用独立的超温保护装置，确保温度不超限；当保护装置动作时，超温保护装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调 |
计时方式 | 温度达到制程设定值后开始计时. |
排风口 | 直径50mm的排风口,且安装有调节风阀 |
电气安全保护 | 风机过载保护、加热系统超温保护、电磁门锁保护、安全接地保护. |
MES软件 | 可连接MES系统 |
作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确 | |
自动记录作业累计次数，作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表 | |
有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员 |
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