MIKRON PhotriX 直接蓝宝石光导管配置
美国！制造商：MIKRON，隶属LumaSense集团
简要描述：
Photrix系列是我们精确的测温仪，拥有行业内较好的信噪比，可测量低温，实现控制高价值工艺与研究应用的的精确度。我们 Photrix系列的这一配置采用一根蓝宝石光杆（也就是“光导管”）作为镜头，用以收集来自目标物体的红外辐射。光导管镜头的优势在于，它可测量低温，且易于安装在真空反应器内，一般用于*材料的沉积（生长）以及蚀刻（移除）工艺。
Photrix光导管镜头配置有5种光谱响应（波长），具有以下特点:
主要优势：
● 低温测量功能（具体内容请参照以下表格）
● 30-670°C温度条件下光谱响应为700-1650nm
● 70-110°C温度条件下光谱响应为1550nm
● 210-1300°C温度条件下光谱响应为900nm
● 220-1300°C温度条件下光谱响应为880nm
● 400-1500°C温度条件下光谱响应为650nm
● 响应时间短，仅1毫秒
● 精确度+/- 1.5 °C或读数的0.15%
● 精度0.01 °C（详见技术资料TN-828）
模拟输出(用户可选4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模块（单个数字信号最多可使用8个传感器，串行模拟输出）可供选择。标准系统包括所有必要的电缆、电源、电脑接口软件以及存档/校正系统。
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技术参数：
测温范围: 30...2400°C 70...2600°C 210...2600°C 220...2600°C 400...2600°C 测量波段: 650 nm – 1650 nm 准确度: ± 1.5° C 或 读数的0.15% 分辨率: 0.01 C 响应时间: 1ms 漂移: <0.15° C 每年 输出: RS-232 (标准), 支持Modbus 协议, 模拟输出(选配) 环境温度: 10 – 60° C
典型应用：
● 半导体
● 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池沉积
● 非晶硅薄膜沉积
● 直拉晶体生长
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选择镜头（根据测量距离、光斑大小）：
测温范围: |
30...2400°C 70...2600°C 210...2600°C 220...2600°C 400...2600°C |
测量波段: | 650 nm – 1650 nm |
准确度: | ± 1.5° C 或 读数的0.15% |
分辨率: | 0.01 C |
响应时间: | 1ms |
漂移: | <0.15° C 每年 |
输出: | RS-232 (标准), 支持Modbus 协议, 模拟输出(选配) |
环境温度: | 10 – 60° C |
