
设备用途及特点
用于微波电真空器件排气及后续工艺处理
*的真空系统性能,显著提升电真空器件排气质量
系统设计紧密结合工艺,操作方便,工艺一致性好
自主研发的控制系统,排气与后处理工艺程控执行
完备的数据记录和分析功能,为工艺改进和质量追溯提供依据
设备规格参数
极限真空度:≤6×10-6Pa
工作真空度:≤5×10-5Pa
烘箱内部尺寸:1100mm×600mm×450mm
升降高度:600mm
加热温度:550℃
全工艺过程自动化控制
工作真空度:≤5×10-5Pa
烘箱内部尺寸:1100mm×600mm×450mm
升降高度:600mm
加热温度:550℃
全工艺过程自动化控制


















