它是一种紧凑且低成本的膜厚计,可以通过高精度光学干涉法轻松测量膜厚。
我们采用了一体式外壳,将必要的设备容纳在主体中,从而实现了稳定的数据采集。
支持从薄膜到厚膜的各种膜厚
使用反射光谱进行膜厚分析
紧凑且价格低廉,实现了非接触,无破坏的高精度测量
简单的条件设置和测量操作!任何人都可以轻松测量薄膜厚度
使用峰谷法,频率分析法,非线性小二乘法,优化法等,可以进行多种膜厚测量。
通过非线性小二乘法的膜厚分析算法,可以进行光学常数分析(n:折射率,k:消光计数)。
测量项目
反射率测量
膜厚分析(10层)
光学常数分析(n:折射率,k:消光计数)
测量目标
功能膜,塑料
透明导电膜(ITO,银纳米线),相位差膜,偏光膜,AR膜,PET,PEN,TAC,PP,PC,PE,PVA,胶粘剂,胶粘剂,保护膜,硬质大衣,防指纹等半导体
化合物半导体,硅,氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,SiC,GaAs,GaN,InP,InGaAs,SOI,蓝宝石等。表面处理
DLC涂层,防锈剂,防雾剂等光学材料
滤镜,增透膜等FPD
LCD(CF,ITO,LC,PI),OLED(有机膜,密封剂)等其他
硬盘,磁带,建筑材料等
技术指标
类型 | 薄膜类型 | 标准型 |
测量波长范围 | 300-800纳米 | 450-780纳米 |
测量膜厚范围 (SiO 2换算) | 3纳米至35微米 | 10nm-35μm |
光斑直径 | φ3mm/φ1.2mm | |
样本量 | φ200×5(高)mm | |
测量时间 | 在0.1-10秒内 | |
电源供应 | AC100V±10%300VA | |
尺寸,重量 | 280(宽)x 570(深)x 350(高)mm,24公斤 | |
其他 | 参考板,配方创建服务 |