真空室镀膜指纹显现柜
产品结构：
A:真空室
A1间歇式马蹄形前开启门
- 真空腔体材质，SUS34L不锈钢板
- 真空腔体表面、内外抛光电解处理
- 真空腔体尺寸：450x450 x400mm
- 14寸强化玻璃观测窗，内部含有方形防镀玻璃
- 腔体内部不锈钢防污衬板
- 腔体粉底烤漆支架
真空室镀膜指纹显现柜
B1镀膜腔体全领域冷阴极真空计
1、真空测量范围：1000to 5*109torr
2、法兰形式接头
3、操作接口：RS232 1/0
4、B2 镀膜腔体电容式真空计
5、真空测量范围：1torr 全尺寸范围
6、法兰接头：NW25
- 精确度：0.5%
- 分辨精确度：0.001%
- 压力限制45Psig
10、输入功率：+/-15VDC/35MA
11、输出信号：0---10VCD/10欧姆
12、B3扩散泵抽气管路真空压力侦测计
14、额定压力范围：0.0—101.3千帕
15、操作/设定压力范围：10.0to—103千帕
16、zui大承受压力：500千帕
17、电源压力：12to24伏直流电
18、电源消耗≤55Ma
19、NPN集电极开路2路输出+模拟输出
C：阀门
1、14寸高真空气动式主阀门
- 腔体气动式粗抽阀
- 腔体气动式前级阀
- 机械泵自动泄气阀
- 腔体气动泄气阀
6、锌气动阀+针阀调整器
D：金、锌蒸发源
1、两个热电源开关分别为：220-7.5V，350A
2、10转精密输出控制输出功率
3、4—1/2数字显示表
4、可程序控制温度，来控制是否挥发金和锌
E：膜厚计
- 测量速度：0.1 秒
- 速率显示分辨率：0.02AL
- 多功能LED和LCE显示屏
- 变量：6参量每秒
- 操作接口：RS-232
F 载台:
1. 半圆柱可抽取上掀载台450*400mm
2. 公转载台及调速装置5—20转速
G：冰水机
- 冷冻能力：12000热量/小时
- 谁泵浦马力：0.5
- 水流速率：30（L/MIN）
- 水箱容量：26L
- 冷媒：R134A
H：软件功能
- PLC可程序逻辑控制器及12寸彩色触控式人机屏幕
- 系统控制接口具有参数设定，系统履历，异常讯息，系统权限登入，自编参数设定，自动/手动抽气控制等功能选项,所有阀门帮浦互锁安全保护
- 系统控制权限设定具有低阶,中阶,高阶三种权限模式,分别以不同的操作方式来操作系统
4、系统参数设定具有系统控制权限密码功能设定,各式阀门延迟开启,关闭时间,设定及各项异常状况侦测状态功能警示设定
