针对半导体晶圆代工及 TFT-LCD 光电产业在产品大尺寸化及制程微细化的趋势下,因制程中挥发出的AMC(气体分子污染物)与 VOC(挥发性有机化合物)污染物,日益严重且更难控制。随著半导体元件的制程柰米化,此两大污染源对于产品品质及良率有著*的影响。壹叁捌 贰柒贰玖 肆伍肆陆
在此,恒升企业提供无毒无化学残留的黑色导电PE膜材料,为您解决VOC的问题,传统晶圆盒用的缓冲垫片为抗静电PU泡棉,其为化学发泡材料,使用期间会慢慢释放出 VOC,进而影响晶片效能,目前较常见的日系黄色抗静电泡棉,有氯离子严重超标的问题,高于4ppm.所以新趋势为改用导电聚乙烯吹塑膜材料,无毒无化学残留问题,抗静电效果均匀且为永防型。指标性晶圆厂已导入使用,附件样品图为8"及12"晶圆盒用之缓冲垫片