MLase准分子激光器MLI 1000 KrF LC
德国MLase MLI 1000 KrF LC准分子激光器是专为工业级高负载连续运行设计的紫外激光光源,核心依托主动水冷系统保障设备在严苛工况下的长期稳定运行,适配各类高精度工业加工与科研实验场景的使用需求。
核心技术参数
| 参数类别 | 技术规格 |
|---|---|
| 输出波长 | 248 nm (KrF准分子) |
| max重复频率 | 1000 Hz |
| 稳定脉冲能量 | 10 mJ |
| 稳定平均功率 | 10 W |
| 能量稳定性 (σ) | ≤ 2% |
| 光束尺寸 (FWHM) | 6 mm x 3 mm (V x H) |
| 脉冲持续时间 | 5-15 ns |
| 核心冷却方式 | 主动水冷 (支持生活用水/外部热交换器) |
工业级可靠性与核心技术
MLI 1000 KrF LC的设计聚焦于满足工业环境对稳定性、可靠性及低维护成本的严苛要求。该激光器采用电晕预电离技术,保障激光脉冲能量稳定输出,光束轮廓均匀,能量稳定性控制在2%以内,为精细加工提供稳定的精度支撑。设备采用全金属密封激光管和刚性钢型材机身,既提升了在工业振动环境下的机械稳定性,也将激光腔寿命大幅提升至数十亿次脉冲级别,有效降低更换频率和维护成本。型号中的“LC”代表配备主动水冷系统,该系统可直接使用生活用水或通过外部热交换器冷却,无需昂贵的去离子水,有效简化操作并降低运维成本,保障设备在高重复频率下长时间运行的热稳定性。

典型应用场景
依托248nm紫外波长高光子能量和冷加工特性,该激光器在多个高精度制造领域适配性良好。在半导体与微电子制造领域,可用于光刻(适配90-250nm工艺节点)、掩模修复以及晶圆直接处理,短波长特性可实现精细的图案化加工;在精密材料加工方面,能对陶瓷、玻璃等脆性材料以及聚合物进行微切割、钻孔和表面结构化处理,有效减少热影响区,保障加工质量;同时也可应用于光纤布拉格光栅(FBG)写入和脉冲激光沉积(PLD)制备特种薄膜,满足科研与产业的应用需求。
MLase准分子激光器MLI 1000 KrF LC


























