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湖南泽天传感科技有限公司
湖南泽天传感科技有限公司
关 键 字： 溅射膜压力，压力芯体，CY10生产厂家： 泽天传感产品型号： CY10，ZPM150数据手册： CY10溅射膜压力传感器芯片数据手册.pdf产品特点： 可靠性高，输入阻抗高、功耗小、响应速度快，无蠕变、不老化典型应用： 军事工业，石化能源，高温燃油与发动机制造，工程机械与液压系统，科研与试验
CY10溅射薄膜压力传感器采用*的离束溅射工艺，在弹性膜片上淀积多层薄膜，采用干法刻蚀技术将NiCr膜刻蚀成电阻桥。在流体压力作用下，膜片变形使桥路电阻几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出与压力成比例的电信号。微电子工艺制作出的惠斯登电桥和膜片组成全金属型敏感元件，由于无任何粘贴剂和活动部件，无密封腔和充油腔，因此具有以下特点。
1、正常工作条件下，不需作任何调整，零点输出的长期稳定性优于±0.1%F.S/年；
2、无论是连续还是间断通电，室温下传感器的零点漂移误差优于±0.1%F.S；
3、传感器的综合精度（含非线性、重复性、滞后误差）可达到0.05级、0.1级；
4、工作温度范围宽：常规产品-40℃～125℃，特殊产品-55℃～180℃；
5、可靠性高，平均工作时间超过50000小时；
6、传感器输入阻抗高、功耗小、响应速度快；
7、耐湿、抗振动、抗冲击、抗电磁与核辐射干扰；
8、弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 溅射工艺代替粘贴工艺, 消除了胶的影响，无蠕变、不老化、工作温度范围宽、温度特性好；
9、体积小、重量轻，适合大批量组装生产。
应用领域
军事工业：及试验系统、卫星、运载火箭与发射地面支撑装置、坦克及战车发动机、航空发动机测试系统、舰艇、、航天器、航天飞行器飞行数据测试、弹道、机载激光器压力测量；
石化能源：油田钻井、测井、录井、试压设备、油井测量仪器、近海深海石油开采平台、天然气、石油输送管道、电厂、核电站、高温地热发电机；
高温燃油与发动机制造：燃烧室压力、燃油压力控制系统、燃气轮机和发动机测试、内燃机、压缩机、试验机、蒸汽等高温高压的压力测量；
工程机械与液压系统：高温液压系统、液压机械、液压泵站、压铸机、静压机等；
船舶交通：船舶制造、柴油机高压共轨压力测量、汽车压力测量等；
科研与试验：髙端设备配套、工程项目配套。
技术参数
灵敏度及非线性
典型尺寸
使用指南
1、严禁用手或其他物体接触膜片表面（应变图形），膜片表面的任何划伤均会损坏膜片；
2、膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥；
3、膜片焊接后，应对传感器组件进行机械稳定20次以上，压力大小为量程的2倍；
4、建议对应变电阻进行电老化：供电电压10～15VDC，＋150℃ 12小时。
相关资料
1、CY10溅射膜压力敏感元件外形尺寸CAD图 请点击下载。
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