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上海盛霞光电科技有限公司
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AALBORG质量流量控制器GFCAALBORG质量流量控制器GFC
AALBORG质量流量控制器GFC，产品概要
GFC 低成本铝或不锈钢热式质量流量控制器
设计特点
± 1% FS 精度为标准
刚性金属结构
可用流量范围从 0 到 10 sccm 到 0 到 1000 slpm
压力 1000 psig (70 bar)
泄漏完整性 1 x 10 -9 sccs 氦气
NIST 可追溯认证
内置可倾斜 LCD 读数（某些型号）
本地或远程设定点控制
0-5 Vdc 和 4-20 mA 信号
电路保护
累加器选项
GFC 质量流量控制器
GFC 型热式质量流量控制器旨在指示和控制气体的设定流量。
GFC 将传统质量流量装置的特性和精度结合到一个的紧凑型设计中，并且成本低，这是以前无法实现的。这些控制器中的每一个都包含一个*的“U"形管传感器，以及用于非腐蚀性气体的铝和黄铜或用于腐蚀性应用的 316 不锈钢制成的流道元件。可以从变送器外部进行零位和跨度调整。
操作原理
计量气体分为两条层流路径，一条通过主流管道，另一条通过毛细管传感器管。两个流道都设计为确保层流，因此它们的流速比是恒定的。
传感器管上的两个精密温度传感绕组被加热，当流动发生时，气体将热量从上游带到下游绕组。产生的温差与传感器绕组的电阻变化成正比。
惠斯通电桥设计用于监测传感器绕组上与温度相关的电阻梯度，该电阻梯度与瞬时流量成线性比例。
产生 0 至 5Vdc 和 4 至 20mA 的输出信号，指示计量气体的基于质量分子的流速。
The combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 闭环控制电路连续监测质量流量输出并将其保持在设定流量。
在规定的限制范围内，流速不受温度和压力变化的影响。
一般说明
紧凑、独立的 GFC 质量流量控制器旨在指示和控制气体的流速。坚固的设计与仪表级精度相结合，提供了多功能且经济的流量控制方式。提供带有工程单位（标准）或 0 至 99% 显示的读数选项的铝或不锈钢型号。
内置电磁阀允许在特定型号的范围内将流量设置为任何所需的流量。作为安全功能，阀门通常处于关闭状态，以确保在断电的情况下关闭气流。设定点在本地或远程控制。
内置于传感器顶部的 LCD 读数可倾斜 90 度以上，以提供的阅读舒适度。它通过标准的模块化插头连接到传感器，并且可以轻松拆卸以进行远程读取安装。为 OEM 应用提供不带 LCD 读数的传感器。
GFC 质量流量控制器的流量范围为 10 sccm 至 1000 sL/min N2。气体通过 1/4"、3/8" 或可选的 1/8" 压缩接头和 3/4" FNPT 接头连接。可选配件可供选择。这些控制器可用作台式装置或通过螺钉安装在底座上。
传感器电源端口有保险丝和极性保护。
泄漏完整性
1 x 10 -9 smL/sec 的氦气至外部环境。
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