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大连索尼卡电子有限公司
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用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。
用于精确的测量气体的流量，具有不因温度或压力的波动而失准、重复性好、自动测量、工作压力范围宽，大流量分流器不易堵塞等特点。
| 【性能特点】 | |||
●量程： | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM | ||
●准确度： | ±1% F.S | | |
●线性： | ±0.5～1% F.S | ||
| ●重复精度： | ±0.2% F.S | ||
| ●响应时间： | 10S | ||
| ●气压降： | <0.01MP | ||
| ●zui大压力： | 10MP | ||
| ●工作环境温度： | 5～45℃ | ||
| ●输出信号： | 0～+5.00V | 管道热式质量流量计 | |
| ●电源： | +15V 50mA -15V 200mA | ||
| ●外形尺寸： | 158.7＊60＊198，161.7＊60＊198可选 |  | |
| ●重量： | 2.5 Kg | ||
| ●防爆等级： | Exd II BT6 | ||
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