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北方华测（苏州）测控技术有限公司


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高低温探针台

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高低温探针台
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高低温探针台
高低温探针台

参   考   价: ￥ 98000 ￥ 65000

订  货  量: 1 台 ≥2 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号Huace-6S

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地苏州市

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更新时间：2024-11-01 17:21:48浏览次数：348次

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北方华测（苏州）测控技术有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：65条

所在地区：江苏苏州市

联系人：华测 （品宣）

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产品简介
台体 尺寸 6英寸/8英寸/12英寸 台体 水平旋转 可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
台体 X-Y移动行程 6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸 台体 X-Y移动精度 10μm/1μm
台体 样品固定 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 台体 针座平台 U型针座平台，最多可放置6~12个探针座
台体 平台升降 可快速升降10mm/可微调升降10mm 台体 背电极测试 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
台体 温度范围 -80℃~+400℃ 台体 温度精度 0.01℃/0.1℃/1℃
尺寸 840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高 台体 设备重量 约40/60KG
光学系统 显微镜类型 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 光学系统 放大倍率 16X-200X/20X-4000X
光学系统 移动行程 水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm 光学系统 光源 外置LED环形光源/同轴光源
光学系统 CCD 200万像素/500万像素/1200万像素 定位器 X-Y-Z移动行程 12mm*12mm*12mm
定位器 移动精度 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm 定位器 吸附方式 磁力吸附/真空吸附
定位器 线缆 同轴线/三轴线 定位器 漏电精度 10pA/100fA/10fA
定位器 固定探针 弹簧固定/管状固定 定位器 接头类型 BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
定位器 针尖直径 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm 定位器 针尖材质 钨钢；铍铜

高低温探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

详细介绍

概述

高低温探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转高低温探针台探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用


◆ 可用于12英寸以内样品测试；
◆ 采用密闭腔结构，屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜；
◆ 优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量；
◆ 可升降调节适合加装探针卡；
◆ 可搭配多种类型显微镜；

技术参数

◆ 台体规格

尺寸：6英寸/8英寸/12英寸；

水平旋转：可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置；
X-Y移动行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸；
X-Y移动精度：10μm/1μm；
样品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环；
针座平台：U型针座平台，最多可放置6~12个探针座；
平台升降：可快速升降10mm/可微调升降10mm；
背电极测试：样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极；
温度范围：-80℃~+400℃；
温度精度：0.01℃/0.1℃/1℃；
尺寸：840mm长*600mm宽*700mm高/950mm长*700mm宽*700mm高；
设备重量：约40/60KG；

◆ 光学系统

显微镜类型：单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜；
放大倍率：16X-200X/20X-4000X；
移动行程：水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸，Z轴行程50.8mm；
光源：外置LED环形光源/同轴光源；
CCD：200万像素/500万像素/1200万像素；

◆ 定位器

X-Y-Z移动行程：12mm*12mm*12mm；
移动精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm；
吸附方式：磁力吸附/真空吸附；
线缆：同轴线/三轴线；

漏电精度：10pA/100fA/10fA；
固定探针：弹簧固定/管状固定；
接头类型：BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子；
针尖直径：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm；
针尖材质：钨钢；铍铜；

◆ 可选附件

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；
光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；
显微镜快速倾仰装置；
激光系统；
探针卡夹具；



关键词：显示器 光学平台 金相显微镜

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