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高分辨率晶圆测试探针台

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更新时间：2025-01-05 10:08:30浏览次数：108次

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莱森光学(深圳)有限公司

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产品简介

紧凑的结构；兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；高等院校/研究所/工业用户实验室使用；可用于12英寸以内样品测试；精密丝杠传动结构，线性移动；无回程差设计；1微米以上电极/PAD测试；VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试；VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性测试；器件的高频特性测试

详细介绍

产品特性

1. 紧凑的结构

2. 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动

3. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用

4. 可用于12英寸以内样品测试

5. 精密丝杠传动结构，线性移动

6. 无回程差设计

7. 1微米以上电极/PAD测试

8. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试

9. VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性测试

10. 器件的高频特性测试

主要技术指标

型号			LS-WPS100-SE	LS-WPS150-SE	LS-WPS200-SE	LS-WPS300-SE
外形			580mm长* 620mm宽* 730mm高	600mm长* 700mm宽* 730mm高	660mm长* 660mm宽* 700mm高	1030mm长* 820mm宽* 730mm高
重量			约70公斤	约80公斤	约85公斤	约180公斤
电力需求			220VC, 50~60Hz
样品台		尺寸	4英寸，可360度旋转	6英寸，可360度旋转	8英寸，可360度旋转	12英寸，可360度旋转
		X-Y行程	4*4英寸	6*6英寸	8*8英寸	12*12英寸
		Z轴行程	6mm（快速切换）/6mm（微调）
		移动精度	10um/1um
		样品固定方式	真空吸附
		背电极测试功能	有，样品台电学独立悬空
针座平台			U型平台，多可放置6个针座	U型平台，多可放置8个针座	U型平台，多可放置10个针座	U型平台，多可放置12个针座
光学特性	显微镜行程		X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
	显微镜移动精度		1um
	切换镜头方式		显微镜快速倾仰30度
	放大倍数		16~100X/20~4000X
	镜头规格		目镜：10X；物镜：5X，10X，20X，50X，100X（选配）
	CCD像素		50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格	X-Y-Z行程		12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	机械精度		10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
	漏电精度		10pA/100fA（配置屏蔽箱时）
	接口形式		香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向			VCSEL芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装器件测试，射频测试等。