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AL76微波等离子清洗机

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AL76微波等离子清洗机适用于批量生产，也可以i满足研发及实验室应用。并且，此系统可以满足360度的芯片封装需要、工业、医药等领域。

详细介绍

AL76微波等离子清洗机：AL76等离子系统适用于批量生产，也可以i满足研发及实验室应用。并且，此系统可以满足360度的芯片封装需要、工业、医药等领域。AL76系统是一款创新型的通用设备，可选配旋转转盘，及ECR（电子回旋共振）装置。

AL76微波等离子清洗机技术参数：

腔体:铝
容积:76公升
尺寸:宽度400毫米×深度490毫米×高度400毫米
腔室门:带观察窗口的铰链式门
微波源：2.45GHz，可调50-1200W
气体进气:3路数字显示的质量流量器控制
真空计: Pirani,1-1000Pa
真空系统：DN 63 ISO-KF
真空阀：电动气动阀

系统控制：

PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也适用于远程控制)
10.4"触摸屏、图形用户界面
Windows Office兼容
存储处理数据和错误信息，处理数据输出
工艺参数图形曲线的监测
自动或手动操作

选配：

真空泵：真空泵组，如，抽吸能力大250m3/h
气路：额外的数字显示质量流量控制器（可支持到4路）
旋转台：铝，直径350mm,速度可调
ECR(电子回旋共振)：铝、支架配置永磁体

那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备、德国阿尔法微波等离子清洗去胶机等。

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