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母合金

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更新时间：2024-05-10 18:09:17浏览次数：67次

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北京合能阳光新能源技术有限公司

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产品简介

■ 所谓“母合金"就是杂质元素与硅的合金，常用的有硅磷和硅硼两种，杂质浓度是10的-2次方和10的-3次方。

详细介绍

■ 采用“母合金”作为掺杂剂是为了使掺杂量容易控制、更准确
■掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质（如磷）或受主杂质（如硼）的杂质浓度，使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求
■ 硅单晶N型掺杂剂：五族元素，主要有磷、砷、锑
■ 硅单晶P型掺杂剂：三族元素，主要有硼、铝、镓
■ 拉制电阻率低的硅单晶，一般用纯元素作掺杂剂
■ 拉制电阻率高的硅单晶则采用母合金作为掺杂剂

影响掺杂的几个因素

■ 杂质的蒸发；无论液体或熔体在合适的温度下，溶剂和溶质总是要蒸发，特别是在真空下尤为显著，因此蒸发必定影响溶质在溶液的分布和溶液的杂质浓度，具体的公式非常复杂，我们需要知道的是杂质蒸发同蒸发表面积、杂质的蒸发速度常数、蒸发的时间几个要素有关。
■ 杂质的分凝效应；熔体的各部分的杂质浓度相同，若进行极其缓慢的所谓平衡冷却，这样固液两相内部杂质原子会通过扩散调整它们之间的浓度，实际上熔体不可能实现平衡冷却，总有一定的冷却速度，由于固相中杂质原子扩散速度很小，浓度调整缓慢，先凝固的与后凝固的固相杂质浓度不同，因此晶体中各处杂质浓度不再均匀分布，这种由于杂质偏析引起的分凝现象叫分凝效应。不同的杂质在熔硅中分凝系数是不同的，熔体结晶时杂质分凝效应使单晶中杂质分布不匀这是它的不利方面，但另一方面可利用杂质的分凝效应使杂质集中在单晶的头部或尾部，达到提纯的目的。
■ 拉制单晶过程中硼的滲入；由于石英坩埚的纯度远远小于多晶硅的纯度，在硅单晶拉制过程中石英坩埚P型杂质（主要是硼）不断溶入熔硅，改变熔硅的杂质浓度。