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东莞市万维精密仪器有限公司
序号内容主机仪器架#一体式人体工学机台#直线导轨驱动器#电动立柱#光栅传感器#水平调整系统(外观尺寸:250*180*40mm
主机仪器架# 一体式人体工学机台# 直线导轨驱动器# 电动立柱# 光栅传感器# 水平调整系统(外观尺寸:250*180*40mm;调整范围:15mm)# 回转及角度调试系统(360度旋转;±25角度倾斜)# 平口装夹系统 Fixture(钳口宽:50mm;钳口深25mm)# 测头与测杆(Ф3*21mm R25μm 12°单切面测针;Ф1*10mm R2μm 60°粗糙度测针;Ф8*150mm 测杆)# 电器控制系统# 品牌电脑# HP喷墨打印机# 测量软件# 使用说明书# 产品保修卡# 产品装箱单# 合格证# 设备验收单# 工具箱
项目 | 参数 | ||
测量范围 | X轴驱动器 | 200mm | |
| Z1(传感器) 粗糙度和轮廓共用 | 60mm | |
| 立柱高度 | 500mm | |
指示精度 | X轴 (L=X轴移动导轨距离) | ±(0.8+0.01L)μm | |
| Z1轴 (H=Z1轴方向测量高度) | ±(0.8+0.01H)μm | |
| 残值轮廓 | ≤0.005μm | |
| 示值误差 | ≤±(5nm+0.1A) | |
| 示值稳定性 | ≤±7% | |
| 重复性 | 1δ≤2nm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
| 圆弧 (R=标准圆弧值) | ≤±(1.0+R/12)μm | |
X轴驱动器 | 直线度 | 1.8μm /200mm | |
| 分辨率 | 0.05μm | |
Z1传感器 轮廓/粗糙度共用 | 类型 | 光栅传感器 | |
| 分辨率 | 0.01μm | |
| 轮廓/粗糙度共用测针 | 25μm 12° | |
| 测针材质 | 硬质合金 | |
| 粗糙度专用测针 | 2μm 60° | |
| 测针材质 | 金刚石 | |
评定长度 | λc×3、4、5、6、7 | ||
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
测量方式 | 传感器移动 | ||
运动控制 | 导轨速度 | 0.02mm至6mm/s | |
| 立柱移动速度 | 0.1mm至10mm/s | |
| 测量速度 | 0.02mm至5.0mm/s |
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