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中科艾科米（北京）科技有限公司
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主要特点/MAINFEATURE主要特点/MAINFEATURE●超高真空兼容●蒸发温度不小于3000℃●精确的线性推进：0.01mm精度
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进：0.01mm精度，25mm行程，特殊设计
●内置挡板，不受空间限制打开
●可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
●超高真空兼容
●蒸发温度不小于3000℃
●精确的线性推进：0.01mm精度，25mm行程，特殊设计
●内置挡板，不受空间限制打开
●可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响
●填料方便快速
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
产品应用 / APPLICATIONS
● 表面科学 ● 超薄膜层 ● 多分子层
● 掺杂 ● 样品制备 ● 密接金属化
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑥ 可选 P：气动，M：手动
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
②可选 35：DN40CF ⑥ 可选 P：气动，M：手动
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 安装法兰 | DN40CF (O.D. 2.75'' ) |
| 烘烤温度 | 200℃ |
| 腔内直径 | 34mm |
| 腔内长度 | 210 mm标准长度， 170mm~400mm 可选长度 |
| 源数量 | 1 |
| 样品类型 | 棒材，颗粒，粉末（可供坩埚） |
| 冷却方式 | 内部水冷, 1L/min |
| 束流监控范围 | 0.1nA~1mA |
| 灯丝电流 | 0~7A (10mA step) |
| 加速电压 | 0~2000V |
| 功率 | 250W |
| 束流发散度 | ±6° |
| 蒸发温度 | ≥3000℃ |
| 坩埚尺寸 | 0.1cc |
| 坩埚材料 | 钨，钼，钽，石墨，可定制其他材料 |
| 棒材尺寸 | 直径1~4 mm，长度20~100mm |
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