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中科艾科米（北京）科技有限公司
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主要特点/MAINFEATURE主要特点/MAINFEATURE●超高真空兼容●特殊高效的水冷设计●多角度安装
主要特点 / MAIN FEATURE
主要特点 / MAIN FEATURE
●超高真空兼容
●特殊高效的水冷设计
●多角度安装，可面朝下安装
●可拆卸坩埚设计，快速更换添加样品
●高重复性
●超高真空兼容
●特殊高效的水冷设计
●多角度安装，可面朝下安装
●可拆卸坩埚设计，快速更换添加样品
●高重复性
产品应用 / APPLICATIONS
● 样品制备 ● 薄膜生长 ● 分子束外延 ● 表面科学
产品应用 / APPLICATIONS
● 样品制备 ● 薄膜生长 ● 分子束外延 ● 表面科学
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动 ⑧可选 K: type K
型号注解 / PART NUMBER COMPOSITION
④可选 H: ≥1500℃, M: 400~1500℃, L: ≤400℃
⑥可选 P: 气动, M: 手动 ⑧可选 K: type K
技术参数 / TECHNICAL DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
| 安装法兰 | DN40CF (O.D.2.75'') |
| 腔内长度 | 130~400mm可选 |
| 腔内直径 | 34mm |
| 工作温度 | 80～1200℃ |
| 加热方式 | 钨丝加热 |
| 温度稳定性 | ±0.1℃ |
| 温度测量 | K型热偶 |
| 烘烤温度 | 200℃ |
| 源数量 | 1 |
| 坩埚材料 | 氧化铝,热解氮化硼,石英,可定制其他材料 |
| 坩埚容积 | 1cc |
| 冷却方式 | 一体式水冷 |
| 挡板 | 内置挡板，可选气动或手动 |
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