HITACHI EA600VX 扫描X射线荧光光谱仪 特 点：
◆无需使用液态氧的高感度实现
◆超高速扫描（500点连续测定）及位置测试双重功能
◆多功能自动定位 ◆凹凸样品自动补正
◆超高解析样品图像 ◆高精度膜厚测定
◆微小异物查找 ◆扫描
1. 高速扫描测量
通过结合了大幅提高的微小区域X射线莹光分析灵敏度和高速电动平台，能够快速获得二维扫描图像。特别是强化了对线路板中铅的扫描，配备了铅扫描滤波器。让1,000ppm以下无铅焊锡中的铅扫描变成简单可行。
2. 宽视野高清晰度光学系?
可获得250mm x 200mm的20μm以下高清晰度的光学影像。以该光学影像可以直接精确测量位置，让操作性得到飞跃般的改善。此外，该光学影像可以和通过高速扫描获得的扫描图像进行重迭，可在大范围内进行高精度分析。
3. 微小区域中微量金属的高速测量
实现了高密度微小X射线束以及配备的高计数率检测器，加上充分考虑到X射线莹光检测效率的设计，实现了高灵敏度化。微小区域中微量金属或薄膜都可在短时间内测量。即使是1mm x 1mm左右的微小区域也可以以100秒左右的速度测量其中的有害物质。
4. 无需液氮的高计数率检测器
作为标准配置本公司*的无需液氮的高计数率检测器，省去了繁琐的液氮补给程序。仅需数分钟的开机时间，同时电子冷却的规格具备了优异的可信性。运用的技术可以减少在液氮制造、搬运时产生的二氧化碳，以及提高测量速度后节省下的电力等，是一款考虑到环保问题的*仪器。
5. 微小区域的镀层厚度测量
可在十秒左右的时间完成对0.2mm x 0.2mm面积中Au/Ni/Cu（金/镍/铜）等薄膜多镀层的镀层厚度测量。此外，也可对无铅焊锡镀层或化学镍镀层中含有的微量铅进行分析。
HITACHI EA600VX 扫描X射线荧光光谱仪 基本规格
X射线发生部 | 照射方式 | 上部垂直照射方式 |
电压 | 大50kV，多段电压切换 |
电流 | 4-1000μA，可做自动调整设定 |
准直器 | 4个，Φ0.2mm、Φ0.5mm、Φ1.2mm、Φ3mm (自动切换) |
检测器 | 形式 | Vortex硅半导体多阴极侦测器 |
冷却方式 | 电子冷却(不需要液态氮，也非冷冻机冷却) |
一次滤波器 | 五种滤波器，6种模式可自动切换 |
样品观察 | CCD监视器 | 高分辨率CCD彩色镜头 双系统 |
观察倍率 | 多倍数自动切换- |
照明 | LED灯，无影灯设计影像无阴影 |
同轴观察系 | 视野：6×4mm 分辨率：20um WD：5mm、15mm、25mm电动 |
广域观察系 | 视野：250×200mm 分辨率：20um以下 |
自动桌面功能 | 测量位置 | 在画面上利用鼠标完成X-Y-Z的坐标输入 |
设定测量位置 | 原点的坐标和画像保存以及位置偏差角度的修正 |
确认测量位置 | 图表表示测量位置 |
再测量功能 | 通过和测量位置的连动，可以进行再测量 |
样品台 | 250(W)x200(D)mm |
移动量 | 大580(W)x450(D)x150(H)mm |
大样品厚度 | 150mm |
载重量 | 5kg |
电源容量，接地 | AC 100V±10% 15A 2系统 第3种接地 |
