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美能Poly在线膜厚测试仪

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更新时间：2024-01-28 10:39:33浏览次数：549次

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苏州上器试验设备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：43条

所在地区：江苏苏州市

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产品简介

美能Poly5000在线膜厚测试仪采用行业微纳米薄膜光学测量创新技术，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的光谱，快速、连续监测工业产线上各式薄膜的厚度以及光学常数，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

详细介绍

光强均匀、频谱稳定

美能Poly5000在线膜厚测试仪采用钨卤素灯，有效光谱范围320nm~2400nm，发射出连续光谱，涵盖了从紫外线到红外线的所有光波段。一台机器覆盖多台机器的测量范围，保证测试结果的准确性。

毫秒级别采样速度

美能Poly5000光谱仪专门针对光伏应用客户设计并开发，光谱范围300~1100nm，光斑70μm，适用光伏行业的测试环境及条件。配合美能的光谱拟合法，最终拟合获得薄膜厚度和光学常数，实现超广测量范围20nm~2000nm和0.5nm的超高重复性精度。

全新智能地操作体验

美能Smart Poly操作软件，快速、智能且易于使用。使用直观且用户友好的独立PC程序无需用户自己编写任何代码即可快速表征材料。操作软件确保准确的结果，以便对材料进行广泛的电气表征。

Poly膜厚在线监控

•99%Poly-si沉积工艺监控，提高产品良率

•非接触、无损测量，零碎片率，保证生产效率

•提高产线自动化生产水平，机器自动测试代替人工离线测试，节约人力成本

•测试速度快，单片测试时间＜0.5s

•膜厚重复性测量精度：＜0.5nm（100次连续测试）