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ZEISS SIGMA 系列场发射扫描电子显微镜

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更新时间：2023-10-24 15:24:05浏览次数：77次

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宁波天准智能科技有限公司

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产品简介

蔡司场发射扫描电子显微镜 Sigma 系列，具有高品质的成像和分析能力，将场发射扫描电子显微镜技术与优秀的用户体验结合。利用 Sigma系列直观的 4 步工作流程，可以提高日常所需的成像和分析效率，在更短的时间内获得更多的数据。可选配多种探测器，以满足颗粒物、纳米结构、薄膜样品等各种不同的应用需求。的 EDS 几何设计可实现出色的元素分析性能，样品适用范围广，且均可获得精准可重复的分析结果。可广泛应用于材料科学、生命科学、工业应用等领域。

详细介绍

产品特点

・灵活的探测手段获取高分辨的图像

・智能高效的工作流程

・ *的分析系统

・可扩展拉曼光谱成像

・的 Gemini 镜筒设计 - 提升光学性能的同时，降低静电场与磁场对样品的影响

应用领域

・材料研究，涂层薄膜分析，形态表征与成像分析

・生命科学，如冷冻样品高分辨成像

・地质矿物学，如材料岩石样品分析

・工业应用，如组件失效分析，工艺诊断

・电子半导体行业，如质量控制与分析

・钢铁行业，如夹杂物分析

技术参数 & 应用领域

	蔡司 Sigma 300	蔡司 Sigma 500
电子源	肖特基场发射电子枪	肖特基场发射电子枪
30 kV 分辨率★(STEM)	1.0nm	0.8nm
15kV 分辨率★	1.0nm	0.8nm
1kV 分辨率★	1.6nm	1.3nm
30 kV 分辨率★(可变压力模式)	2.0nm	1.5nm
背散射电子探测器(BSD)	aBSD / HDBSD	aBSD/ HDBSD
扫描速度	50ns/ 像素	50ns/ 像素
加速电压	0.02- 30kV	0.02- 30kV
放大倍率	10x - 1,000,000x	10x- 1,000,000x
探针电流	3pA-20nA(100nA 可选)	3pA-20nA(100nA 可选)
图像存储分辨率	32k×24k 像素	32k×24k 像素
接口数量	10	14
EDS 接口	2(1 个专用接口)	3(1 个专用接口)

★分辨率指标：系统验收时，理想工作距离下，在 1kV 和 15kV 高真空条件下获得的分辨率

真空模式
高真空	配备	配备
可变压力	10-133Pa	10-133Pa
样品台类型	5 轴电动优中心样品台	5 轴优中心样品台	5 轴电动优中心样品台选件
样品台 X 轴行程	125 mm	130 mm	125 mm
样品台 Y 轴行程	125 mm	130 mm	125 mm
样品台 Z 轴行程	50 mm	50 mm	38 mm
样品台 T 轴倾斜度	-10 - +90 度	-4 - +70 度	-10 - +90 度
样品台 R 轴旋转角度	360°连续	360°连续	360°连续