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HP-150 桌面式热板

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产品型号HP-150

品牌

厂商性质其他

所在地上海

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更新时间：2024-04-07 10:02:38浏览次数：118次

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上海德竹芯源科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：157条

所在地区：上海上海

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产品简介

HP-150热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认可达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。 HP系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可以处理150 × 150mm尺寸的基片。热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此设计，也能大限度降低维护成本。因此，SAWATEC热板是实验室、研发、试产项目及研究所的优选。

详细介绍

产品功能

● 数字温度控制及实时温度显示

● 自动温度限幅开关，避免过热

● 配备安全玻璃，也方便清洁

● 热板快速调平，避免光刻胶流动

● 基片通过真空吸附固定

● 手动上下片

性能参数

● 均匀加热区域：150mm × 150mm

● 温度范围：室温到 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/-1℃