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HP-200 柜式热板

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产品型号HP-200

品牌

厂商性质其他

所在地上海

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更新时间：2024-04-07 10:00:37浏览次数：181次

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上海德竹芯源科技有限公司

经营模式：其他

商铺产品：157条

所在地区：上海上海

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产品简介

HP-200 热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认可以达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。HP 系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可处理 200 × 200mm 尺寸的基片。热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此设计，也可大限度降低维护成本。因此，SAWATEC 热板是实验室、研发、试产项目以及研究所的优选。

详细介绍

产品功能

● 数字温度控制及实时温度显示

● 重复工艺的快速启动

● 自动温度限幅开关，避免过热

● 加热工艺可编程多段式，每个工艺可设置 20 段

● 电动升降式载片顶针

● 配备安全玻璃，也方便清洁

● 热板快速调平，避免光刻胶流动

● 用户操作的工艺参数配置界面以及触摸屏

● 基片通过真空吸附固定

● 手动上下片