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上海德竹芯源科技有限公司
洁净度100级、氧浓度低于 20ppm 的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在100级,可在洁净的环境下进行高温烘烤
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收
● 液晶触摸屏操作,自动/手动两种运行模式
● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置
● 工作温度 360℃ 和 500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等
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