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BROOKS 5850EMH

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BROOKS 5850EMH
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更新时间：2023-08-05 15:21:46浏览次数：174次

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产品简介

详细介绍

5850EMH系列高温质量流量控制计

页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性，高温应用中超高纯表现
型号 5850EMH / 5851EMH

来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性，为高温气体测量和控制提供了的性能，具有多种选择，允许的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器，其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。

特点

  • 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
  • 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
  • 高纯度 VAR 316L 不锈钢
  • 无磨粒
  • 氦泄漏检查端口
  • 常闭阀（可选常开阀）
  • 电致动阀复位
  • 低命令流量断流
  • TTL 兼容"关阀"功能

优势

  • 稳定、可靠的产品平台
  • 高流量，高达 100 lpm（N2 当量）
  • 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
  • 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修

应用

  • 光纤制造——MCVD，OVD，AVD
  • 水汽流量控制



或

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