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日立全自动型原子力显微镜 AFM5500M

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更新时间：2023-07-20 10:51:06浏览次数：157次

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诺赛德自动化设备（苏州）有限公司

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产品简介

产品介绍 AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。

详细介绍

产品介绍：

AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。

产品特点：

1. 自动化功能

高度集成自动化功能追求高效率检测
降低检测中的人为操作误差

4英寸自动马达台

自动更换悬臂功能

2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。
AFM5500M搭载了研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

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