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西安赢润环保科技集团有限公司
ERUN-PG51NF3固定在线式三氟化氮检测报警仪适用于半导体芯片、平板显示器、光纤、光伏电池等使用三氟化氮NF3作为等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂的工况场所,固定式三氟化氮泄漏检测仪可以连续实时在线监测空气中三氟化氮的浓度值及泄漏状况。在线式氟化氮NF3浓度报警探测器能够在监测到三氟化氮浓度达到或超过仪器预设的报警浓度值时时就会发出声光报警,信号远程传输至值班室监控主机上同步显示氟化氮的浓度值和报警状态,并自动联锁控制排气风机进行通风换气。
检测气体 | 三氟化氮NF3 | ||||
量程分辨率 | NF3:0-50ppm、0.01ppm、进口高精度电化学原理传感器 或 NF3:0-1000ppm、0.1ppm、进口高精度电化学原理传感器 其他量程、原理、分辨率可订制 | ||||
检测精度 | ≤±3%F.S(更高精度可订制) | ||||
重 复 性 | ≤±2% | ||||
线 性 度 | ≤±2% | ||||
不确定度 | ≤±2% | ||||
响应时间 | T90≤20秒 | ||||
恢复时间 | ≤30秒 | ||||
信号输出 | 总线制RS485(Modbus-RTU),分线制4~20mA, 选配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、无线传输、网络传输、短信报警。 | ||||
工作方式 | 固定式安装,在线检测,扩散式测量;可选管道式、流通式、泵吸式测量。 | ||||
显示方式 | 现场1.7寸高清彩屏显示,可选现场无显示,或选配ERUN-PG32E控制器远程显示、控制、报警 | ||||
报警方式 | 默认1路,可选2路无源触点(干节点)输出,三级报警,报警点可设置 现场声光报警 | ||||
安装方式 | 管道式、壁挂式。管道式的工作压力为大气压±30%,超出范围需降压处理。 | ||||
工作电压 | 12~30VDC直流,单台设备的标准电源为24V,1A或大于1A 的直流稳压开关电源 | ||||
工作环境 | 温度:-40℃~+70℃,湿度:≤10~95%RH (常规)非凝露场合 在凝露场合使用须订制或订货时注明使用环境 | ||||
电气接口 | 3/4NPT,可选M20*1.5内螺纹、1/2NPT | ||||
连接电缆 | 4~20mA选三芯屏蔽电缆,RS485选四芯,距离超1000米时单根线径≥1.5mm;屏蔽层接大地。 | ||||
防护等级 | IP65级防水防尘 | ||||
防爆类型 | 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb级防爆 | ||||
外型尺寸 | 210×170×85mm(L×H×W) | ||||
重 量 | 1600g |
标准附件 | 工业氟化氮泄漏探测器、说明书、合格证、外箱包装盒 | ||||
安装型附件 | 选配:流量计、24VDC或220AC采样泵(采样距离10米)、真空泵(采样距离大于40米)、减压阀、24V开关电源、墙壁安装支架、管道安装不锈钢螺纹焊座或法兰(需注明管道或法兰尺寸,如DN50、DN15...)、防雨罩、固定在管道上的安装卡扣(四分、六分管)。 | ||||
预处理(选配) | 高温高湿度预处理系统、高温高湿高粉尘预处理系统、常温高湿预处理系统 | ||||
无线传输(选配) | 可以把数据无线传输到远程监控中心、手机、监控电脑等监控设备,利用上位机在电脑上,进行数据分析、存储、打印等功能 | ||||
选配附件 | 连电脑监控的配件:RS485/RS232转换器、免费上位机软件、无RS232接口的笔记本电脑还需USB/RS232 转换连接线,如果要网络传输还需 TCP/IP转换器; 分体式声光报警器、一体式声光报警器、24V直流稳压电源。 |
以上就是关于ERUN-PG51NF3固定在线式三氟化氮检测报警仪的相关介绍,三氟化氮,又称作氟化氮,化学式为NF3,常温常压下为无色气体,属于对人体有毒有害的气体,在现场安装使用固定式三氟化氮泄漏检测仪主要是为了能够24小时连续实时在线监测环境空气中的三氟化氮的浓度值,以免过量泄漏积聚的三氟化氮造成人员中毒事故的发生。三氟化氮是一种强氧化剂,具有助燃性,受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧,与还原剂能发生强烈反应,甚至爆炸。此外,氟化氮作为对人体有毒有害的气体,人员不慎吸入较高浓度时,会对皮肤、粘膜有刺激作用,情况严重时,甚至会危及生命,通过在现场安装使用在线式氟化氮NF3浓度报警探测器可以有效避免危险事故的发生。
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