概述
紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝，测量范围极广，从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar（5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr），并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards 的 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的优势，同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计脱气装置，而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射，AIGX 成为不能有背景噪声的制程的佳选择。
功能和优势
- 的 8 decade 测量功能，可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。
- 有两种款型可用，每一种又有三种真空联轴器变型：
- “D"型具有 9 针“D"接头盒标准接口；
- “S"型具有增强的功能，与 Edwards 的控制器兼容。
- 与主要竞争对手相比，带电粒子制程污染减少了 30%。
- 自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。
- 在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定，从而可以在更高压力下保持输出精度。
- 在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。
- 性设计消除了 X 射线限制的影响。
- 双色 LED 提供真空计状态的本地指示。
- 输入电压范围宽。
- 电子器件极易拆卸以进行高达 200 °C 的加热。
- “S"型提供有无缝的自动发射电流切换，延长了灯丝寿命。
- “S"型提供有诊断输出，指示“发射关闭"、“灯丝烧坏"和“过压跳闸"，以帮助进行故障排除。
- “S"型提供有一个可以用按钮调整的设定点。
数据
| 压力范围 | 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar |
| （5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr） |
| 电源供给 | +14.5 至 +30.0 V 直流 |
| 功耗 | 正常工作：7W（大）， |
| 脱气：14W（大） |
| 输出信号 | 线性，1 V / decade |
| 响应时间 | 1.33 x 10-8 mbar |
| (>10-8 Torr) ˜ 100 ms |
| 1.33 x 10-8 mbar |
| (<10-8 Torr) ˜ 1-2 s |
| 大电压 | 30 V（直流） |
| 大电流 | 100 mA（大） |
| 工作环境 | 干燥的非导电性大气 |
| 温度范围 |
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| 工作温度 | 0 至 +40 °C |
| 存储温度 | -30 至 +70 °C |
有关更多信息，请与 Edwards 联系。
