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伯东企业（上海）有限公司


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上海伯东代理美国 KRI射频离子源 RFICP 220

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上海伯东代理美国 KRI射频离子源 RFICP 220
上海伯东代理美国 KRI射频离子源 RFICP 220

参   考   价: ￥ 1212000

订  货  量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品       牌其他品牌

厂商性质代理商

所  在  地上海市

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更新时间：2024-05-01 15:13:17浏览次数：76次

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伯东企业（上海）有限公司

经营模式：代理商

商铺产品：68条

所在地区：上海上海市

联系人：邓 （销售助理）

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产品简介

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 220, 大面积高能量栅极离子源.
离子束流: >800 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量（Typical flow）: 10-40 sccm; 压力: < 0.5m Torr
离子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.

详细介绍

上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 220, 大面积高能量栅极离子源.

离子束流: >800 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 压力: < 0.5m Torr

离子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.


伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

离子源型号

RFICP 220

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>800 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

20 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

30 cm

直径

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量


伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 应用领域：

1. 预清洗

2. 表面改性

3. 辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

4. 溅镀和蒸发镀膜 PC

5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6. 离子蚀刻 IBE


若您需要进一步的了解详细信息或讨论,   请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生  



或

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