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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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● 关于混合过滤器精密过滤精度的气体过滤器的入口/出口的接口部分安装垫圈型气体过滤器，可以对配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子进行初步过滤，可以发挥防止精密气体过滤器和流量控制器的堵塞，防止金属密封阀等的密封不良造成的气体泄漏等作用。
关于混合过滤器
精密过滤精度的气体过滤器的入口/出口的接口部分安装垫圈型气体过滤器，可以对配管中的0.3μm以上或者1μm以上的大粒子进行初步过滤，可以发挥防止精密气体过滤器和流量控制器的堵塞，防止金属密封阀等的密封不良造成的气体泄漏等作用。
※ 配管的密封接口部分的垫圈可以单独安装。
※ 无需改造现有的配管，也能安装。
● 过滤器材质采用ＳＵＳ３１６Ｌ制造。
● 垫圈材质采用ＳＵＳ３１６Ｌ或镍。
● 配管的密封接口部分的垫圈可以单独安装，无需改造现有的配管，也能安装。
规格：
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