当前位置：上海首荣工业设备有限公司>>extech全系列产品>>日本HORIBA STEC-Z512MGX数字式气体质量流量控制器

日本HORIBA STEC-Z512MGX数字式气体质量流量控制器

返回列表页

参考价

面议

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌

厂商性质其他

所在地上海市

在线询价收藏产品查看联系电话

联系方式：杨枫查看联系方式

更新时间：2024-03-18 13:51:30浏览次数：164次

联系我时，请告知来自智慧城市网

产品分类 品牌分类

  extech全系列产品

全部产品列表

暂无信息

上海首荣工业设备有限公司

经营模式：其他

商铺产品：369条

所在地区：

联系人：杨枫

询价 给他留言

产品简介

概要质量流量计它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素

详细介绍

概要
质量流量计它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为范围内超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。
在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。
Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求，为客户提升产品价值。
高性能的Z500系列流量计，将带给您更多惊喜。
*1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。
特征
高精度：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的，此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统，并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了开发的“可更改PID"系统，保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。
产品相关图及其它