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日本HORIBA STEC-N112MGM 气体质量流量控制器

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更新时间：2024-03-18 13:50:08浏览次数：87次

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产品简介

概要我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品

详细介绍

概要
我们提供了一系列满足客户需求的质量流量计产品。
气体被广泛地运用于各种工业领域，从太阳能电池、燃料电池的研究和制造；到半导体、液晶面板和在电子行业中使用的发光二极管（LED）的研究和制造。在这些制造工艺中，对各种气体的流量进行准确的测量和控制显著地提高了工作效率，进而节约了能源和提高了生产力。HORIBA STEC致力于质量流量计的发展，包括半导体、光电和LED的制造提供服务，并将继续开发新的产品来满足客户的需求
特征
HORIBA STEC可以提供满足您需求的全套产品。

型号	选择信号传输模式	选择电源
SEC-N102系列	数字式信号传输 ▶RS485 F-NET协议模拟式信号传输 ▶0～5VDC	±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的电源产品。
SEC-N104系列	DeviceNet信号传输	遵照ODVA标准
SEC-N106系列	PROFIBUS信号传输模拟式信号传输 ▶0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA	遵照PROFIBUS标准 24VDC(13 to 32VDC)

此型号适合各种小流量到大流量的需要。
流量控制范围为标定满量程的2～99%

高精度
■高精度（设定点为基准）MFC的线性度将由近似多项式曲线进行补偿。这帮助实现了对所有流量控制范围的高精度控制。为了实际气体流量的准确性进一步提高，各种工艺气体的校准数据将按照HORIBA STEC标准的气体测量系统进行校验。

整个流量控制范围内都可实现高响应速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可变PID运算法则：1秒高速响应 SEC-N100 系列搭载了开发的“可变PID系统"，对于所有设置点它可以实现1秒内的高响应速度。当您改变标定满量程和气体种类时，可变PID将根据当下的设定点不断变化，其PID参数也将随之被优化。