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上海河畔信息科技有限公司
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5G毫米波生产测试和表征44GHz信号传输到被测设备53GHzVNA射频测试性能多达20个独立的射频VNA端口，用于并行、多站点测试用于晶圆探测器和设备处理器的兼容接收器接口直流、参数和射频测试能力ICEasy半导体测试套件ATEasy®集成测试执行/开发环境
通用半导体TS-900e-5G mmWave测试系统为被测设备（DUT）提供53个GHz VNA射频测试能力。这些系统能够支持多达20个独立的VNA端口，非常适合用于需要并行、多站点测试能力的应用程序。
是德科技公司的模块化向量网络分析仪（VNAs）是TS-900e-5G的核心，提供了的射频测量性能和可重复性。它们在整个感兴趣的波段中提供了的相位和振幅测量精度，消除了一些仪器发现的测试带隙，这是对mmWave半导体器件进行全面测试的关键要求。
M9807A（44 GHz）和M9808A（53 GHz）PXIe VNA仪器是理想的VNA解决方案，在真正的多端口仪器中提供模块化、速度和精度，与PNA-X仪器具有相同的测量科学。基于普通测量科学的仪器化简化了从实验室到生产层的过渡，模块化体系结构提供了一个明确定义的路径来升级通道计数和频率。
实现完整的系统级校准，以消除测试结果中的信号路径错误，包括互连点，如电缆、连接器、盲配接口和加载板误差源，如板轨迹和插座。采用一种多步骤的方法来隔离被测装置（DUT）的行业标准做法。夹具去嵌入是最准确的校准方法，但其他方法，如自动夹具去除（AFR）也可从一个开放的夹具中提取参数。
高性能接收机接口支持封装或晶圆测试和mmWave半导体器件的表征。接收机接口兼容Opus 3和TEL探测台，以及Seiko Epson E8040和E8080分选机。还支持Reid-Ashman OM-1069 manipulators。
TS-900e-5G带机械手试验系统
紧凑的占地面积、降低的电力耗和标准的空气冷却进一步有助于降低这些测试系统的总体拥有成本和减少的碳足迹。
测试系统的启动和调试明显减少，这是过渡到外包半导体组装和测试（OSAT）设施时的一个关键问题。典型的安装和启动时间，包括执行完整的系统级自检，通常在不到一个小时内完成。
特征
基础系统包括 是德科技VNA仪表、动态和静态数字输入/输出、多通道SMU电源和系统带夹具自检。额外的扩展插槽也是可用的。
核心系统组件包括以下测试资源和功能：
VNA仪器（M9807/M9808）
GX3104 4-Channel SMU
GX5295 64通道动态数字输入/O，PPMU
GX5733 64通道静态数字I/O
GX7200 21-插槽，高功率PXIE Chassis
RF pogo-pin blind-mate接收接口
嵌入式i7，四核控制器与Windows®10操作系统
ATEasy测试执行器和编程环境
DIOEasy digital waveform editing and display tools
ICEasy test software development tools
软件
ATEasy®测试执行器和软件开发工作室是一个全面的软件开发环境，具有一个可定制的测试执行器，用于执行、排序、故障分析和调试。它预先配置了所有所需的仪表驱动程序，虚拟仪表面板，和系统的自我测试，以进行简单的启动和软件开发活动。
ATEasy是的测试开发环境，具有快速开发工具和免版税的运行时可执行发行版。此外，ICEasy，一套用于半导体测试和评估的软件工具ICEasy，并结合了I-V曲线和Shmoo图工具，用于分析器件的直流和交流特性
参数
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