MS761压力传感器晶元的基础组成是在耐热玻璃上真空封装上硅微机加工膜。植入的电阻利用压阻效应。绝压传感器MS761-A在膜下面有个真空参考腔，差压传感器MS761-D的背面耐热玻璃中间有个孔。0 到100kpa 压力范围 （1bar 或14.5PSI)；高灵敏度；符合RoHS 和无铅
全压力范围
| Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
100 | 1 | 1000 | 14.5 | 0.987 | 750 | 10.197 | 401 |
率
参数 | 符号 | 条件 | Min | Max | Unit |
供应电压 | VS+ | Ta=25℃ | | 20 | V |
储存温度范围 | Ts | | -40 | +125 | ℃ |
过压 | | | | 5 | Bar |
电气特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
参数 | 最小 | 典型 | | 单位 | 备注 |
工作压力范围 | 0 | - | 1 | bar | |
工作温度范围 | -40 | | 125 | ℃ | |
桥路电阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
满量程 | 190 | 240 | 290 | mV | |
零点 | -40 | 0 | 40 | mV | |
线性 | | ±0.15 | ±0.4 | %FS | 1 |
温度系数 电阻 量程 零点 | +2400 -1500 -100 | +2800 -1900 | +3300 -2300 +100 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
| 压力迟滞 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 |
| 重复性 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 |
| 温度迟滞 | | | 0.3 | %FS | 5 |
订购信息
| 产品 | 类型 | 产品说明 | 编号 |
| MS761-A | 绝压 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | |
| MS761-A_0.2 | 绝压 | 1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f | |
| MS761-D | 差压 | 1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f | |
The MS761 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings
