低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在 短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。
与目前国内常用的异味气体治理方法（活性炭吸附、液体吸收、燃烧法及生物法等）相比较，低温等离子体工业废气处理设备和技术具有如下特点：
1、高科技创新产品：“低温等离子体”技术是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是一全新的技术创新领域。是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。2、废气净化：本设备能去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，除臭效率可达98%以上，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有强力杀灭空气中细菌、病毒等各种微生物能力，而且具有明显的 作用。
3、无需添加任何物质：低温等离子体废气处理是一种干法净化过程，是一种全新的净化过程，运行过程无需添加任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
4、适应性强： 的净化功能，无须专人看管。可适应高浓度、大气量、不同气态物质的净化处理，可在高温250℃,低温-50℃的环境内净化区均可运转,特别是在潮湿,甚至空气5、湿度饱和的环境下仍可正常运行，每天24小时连续工作，长期运行稳定可靠。
6、低耗节能：运行费用低廉、省电是“低温等离子体” 核心技术之一,处理1000M3/h臭气，耗电仅0.25度。本设备无任何机械动作，自动化程度高,工艺简洁,随用随开操作简单方便.无需专人管理和日常维护，遇故障自动停机报警，只需作定期检查。
7、设备组合性强：“低温等离子体”设备重量轻，体积小，可按场地要求立放、卧放，可根据废气浓度、流量、成份进行串、并组合设计达到的废气净化。8、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，抗氧化性强，对酸、碱气体、潮湿环境等具有良好的防腐性能。使用寿命长达15年以上。
9、稳定：“低温等离子体”设备内使用电压在36伏以下，稳定可靠。低温等离子体等离子体内部产生富含 高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，较终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其它方法难以处理的多组分恶臭气体，如化工、医药等行业。占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用；运行费用低；反应快、停止十分迅速，随用随开。
低温等离子废气处理设备能处理有机物废气主要包括碳烃化合物、苯及苯系物、醇类、酮类、酚类、醛类、酯类、胺类、腈、氰等有机化合物，其中包括：
等离子光氧一体机
1、化学石化、有机合成反应设备排气；
2、印刷行业印墨中有机溶剂；
3、机械行业机械喷漆；
4、金属制品产生的气味；
5、汽车行业汽车的喷漆、干燥炉铸件生产设备排气；
6、五金、家具厂喷涂设备排气等。
适应于家具厂、鞋厂、五金厂、电子厂、工艺品厂、印染厂、塑料制品厂等等，同样，等离子技术处理涂装系统废气，油墨废气，高压静电式的印刷印染废气都有独到的优势。
